CVD Chemical Vapor Deposition CVD真空氣相鍍膜
                                                                                        CVD真空氣相沉積設備
                                                                                        側式真空氣相鍍膜設備

                                                                                        LPMS CVD12

                                                                                        側式真空氣相鍍膜設備

                                                                                        • 不銹鋼真空反應罐,結構合理,堅固耐用;真空管路采用不銹鋼連節,方便維護及保養。

                                                                                        • 1.2米大直徑真空反應罐,單次鍍膜數量多, 能滿足大型工件的鍍膜需求。

                                                                                        • 側開式門設計便于取放產品與腔體清潔等維護作業。

                                                                                        • 反應罐內置轉盤機構使產品在鍍膜過程中轉動,鍍層更均勻。

                                                                                        • 使用數位LED真空計顯示工作真空度。

                                                                                        • 操作簡易,可依實際需求變換自動 /手動操作模式。

                                                                                        • 紅外線加熱圈,加溫速度快。

                                                                                        • 采用高精度溫控裝置多段控溫,溫控精確。

                                                                                        • 定時加熱、超溫報警和自動停止加熱等保護功能

                                                                                        • 自診功能和各種故障報警。

                                                                                        運用范圍

                                                                                               真空氣相沉積設備是一種用于電子產品防水保護的鍍膜設備。工作時把含有構成薄膜元素的化合物(長鏈性高分子材料,一般為派瑞林Parylene)、單質氣體經過升華、熱解后進入放置產品的真空反應室,借助空間氣相化學反應, 在產品表面上沉積生成0.1-100um的厚度均勻,無應力、優異的電絕緣性和防護性、防潮、防霉、防腐、防鹽霧的薄膜涂層?!?/p>

                                                                                               廣泛應用于:航空航天、電路板、LED 、磁性材料、傳感器、硅橡膠、密封件、醫療器械、珍貴文物等領域產品的防水封裝與保護工藝中。



                                                                                        產品規格

                                                                                        設備總尺寸 ( 寬度 , 深度 , 高度 ) / 重量

                                                                                        3000 mm x 1420 mm x 1620mm

                                                                                        反應罐體外徑

                                                                                        ?1210 mm x1240 mm

                                                                                        反應罐罐口尺寸

                                                                                        890 mm x1200 mm

                                                                                        輸入電壓

                                                                                        三相 380 VAC / 50 Hz

                                                                                        設備最大功率

                                                                                        15 Kw

                                                                                        溫控分區

                                                                                        6

                                                                                        分解爐溫控范圍

                                                                                        室溫至700℃

                                                                                        升華爐溫控范圍

                                                                                        室溫到150℃

                                                                                        原料門溫控范圍

                                                                                        室溫到250℃

                                                                                        制冷壓縮機功率

                                                                                        1000 W

                                                                                        制冷量

                                                                                        887 W

                                                                                        最低制冷溫度

                                                                                        -90℃

                                                                                        真空泵型號

                                                                                        2RH 090C

                                                                                        真空泵抽氣速率

                                                                                        90 m3

                                                                                        最大真空壓力

                                                                                        ≤ 5 Pa

                                                                                        真空泵電機功率

                                                                                        3.7 KW (三相380VAC)

                                                                                        真空泵電機轉速

                                                                                        1440 R/Min

                                                                                        控制系統

                                                                                        10 ”人機界面,PLC 控制


                                                                                        一色屋任你精品亚洲香蕉_久久97超碰色中文字幕蜜芽tv_夜夜添无码试看一区二区三区_国产—久久香蕉国产线看观看